氣泡對石英坩堝質量的潛在影響

點擊次數：更新時間：24/11/25 10:56:11 來源：www.122au.com 【關閉】分享:

石英坩堝為半透明狀，分為外層，也叫氣泡復合層（不透明層，氣泡含量較多），以及中內層，也叫氣泡空乏層（真空透明層，不含氣泡，3~5mm）兩層結構。外層需要把來自加熱器的熱量均勻散射，所以需要規(guī)定數量和大小的氣泡，從而對硅熔體均勻加熱；中內層是一層3-5mm的透明層，成為氣泡空乏層，對高純石英砂高純、低鋁、低堿、抗析晶的要求更高。石英坩堝的內壁因為與硅熔體接觸，在高溫狀態(tài)下，若內壁存在氣泡，氣泡會導致氣體和雜質從坩堝內釋放到熔體中從而擾亂到單晶硅的生長。

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